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【展商风采】卡贝尼——具备先进陶瓷全面解决方案的本土企业


上海卡贝尼精密陶瓷有限公司

展位号:H1馆 A745


01  陶瓷罩


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工艺难点

大尺寸陶瓷(直径超500mm)的生坯成型和烧结;

表面微裂纹的控制,确保使用寿命周期内不会有particle产生;

优异的介电常数和介质损耗。



02  异形陶瓷基体


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工艺难点:

氧化铝、氧化钇陶瓷高强度结合技术;

氧化钇涂层纯度>99.99%,孔隙率<3%。



03  陶瓷喷嘴


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工艺难点:

气孔(直径小于0.5mm)的加工和同心度的控制;

加工工时、成本相对原厂下降30%。



04  氮化铝部件


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工艺难点:

材料成型、致密化烧结、精密加工。




问 答 小 百 科

上海卡贝尼精密陶瓷有限公司成立于2004年2月,位于浦东新区。是一家集研发、生产、经营于一体,具备先进陶瓷全面解决方案的本土企业,也是国内唯一一家在泛半导体领域拥有超大规格精密陶瓷部件生产技术知识产权的公司。

公司主营高纯先进陶瓷材料与各类精密陶瓷零部件的制造与应用,产品主要应用在集成电路、LED、液晶面板、医疗器械、航空航天、船舶等高科技领域,都属于国家重点支持的战略性新兴产业。


Q1:贵公司本次参展发布的新产品和技术有哪些?有什么亮点和特色?

公司目前主要从事研发制造用于各类高精尖设备的先进陶瓷零部件,包括氧化铝、碳化硅、氮化铝、铱,氧化锆、氧化钇等材料制备的陶瓷零部件。

具体产品内容有:

卡盘、密封环(可达直径800mm)、观察窗、盖环、电极板、基座、托盘、研磨盘、机械手臂(末端传送器)、陶瓷罩、喷嘴、陶瓷密封条(长度超过2米)


Q2:贵公司近三年的发展情况如何?贵司产品在业内的使用情况和口碑如何?

公司通过ISO9001 质量管理体系认证,并先后获得日本爱发科、美国安靠、中芯国际、中微半导体、上海微电子、北方华创、京东方等国内外集成电路、半导体、平板显示制造领域领头企业的认证,产品质量得到半导体行业企业和专家的认可,是中芯国际等诸多晶圆厂与设备厂认证的先进陶瓷部件战略供应商。卡贝尼已具备成熟的长度达2000mm、直径650mm先进陶瓷部件生产技术及工艺,并拥有完全自主知识产权,是国内唯一具备大尺寸精密陶瓷生产技术及相关知识产权的公司。同时,卡贝尼先后成为国际半导体设备与材料协会会员单位、国家集成电路材料产业技术创新战略联盟理事单位。

公司先后荣获:2018、2019北方华创核心供应商,Semi 杰出产品奖,中芯国际2020最佳成本效益贡献奖,浦东新区科技进步奖三等奖等荣誉。


Q3:当前国内外的行业经济形势如何?贵司在2021-2022年有些什么举措?

目前,随着制造业转型升级,集成电路半导体等高精尖产品的快速发展,都对先进陶瓷材料和零部件提出了更高的迫切需求,整个行业都迎来了快速发展的时机。但是我国在先进陶瓷制造领域依然面临着高端材料、装备与制造工艺的缺失和落后局面。急需国内相关领域企业能够进一步攻克相关技术,抓住良好的行业发展机遇窗口期,实现更好的发展。

我司在此期间始终坚持以先进陶瓷材料的研发与应用为使命,不断的在先进陶瓷材料的制备、成型、烧结等工艺技术上面加强研发与创新。并通过整合产业资源,坚持为客户提供更好的产品和技术支持、健全的售后服务,力争通过先进材料与部件制造应用 、精密清洗与表面处理、泛半导体制造综合服务这三大板块业务为客户提供更可靠的支持和服务。